Structure et thermodynamique des surfaces. Processus élémentaires sur les surfaces : adsorption, désorption, décomposition, diffusion, ségrégation, îlots, surfactants, croissance sélective, techniques expérimentales. Modes de croissance bidimensionnelle: théorie Burton-Cabrera-Frank, croissance par propagation des marches, croissance bidimensionnelle, épitaxie à basse température, modélisation. Couches contraintes : mécanismes de relaxation, modes hybrides, croissance Stranski-Krastanov, auto-organisation, séparation de phases. Théorie de la germination et de la coalescence. Réactions en phase solide : interdiffusion, réactions interfaciales, croissance de grains. Évolution de la micro-/nanostructure : modèle de zone, texture, couches minces composites. Effet des photons, électrons et ions sur les processus cinétiques en surface et sur l'évolution microstructurale.